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¶ÆÄø£¨Ni£© | 3~10 | ¸ßÎÂÇÖÊ´ÇéÐΣ¨Èç·¢ÄîÍ·²Õ£©¡¢ÑÎÎíÇéÐÎ | Ä͸ßΣ¨>400¡æ£©¡¢ÄÍÁòÐԺà | µç×èÂʽϸߣ¨0.098 ¦¸¡¤mm?/m£©¡¢º¸½ÓÐÔ²î |
¶ÆÐ¿£¨Zn£© | 5~15 | »§ÍâµÍ±¾Ç®³¡¾°£¨ÈçµçÁ¦´«Ê䣩 | ±¾Ç®µÍ£¨Õ¼Í±¾Ç®3%~5%£©¡¢ÄÍ´óÆøÇÖÊ´ | µç×èÂʸߣ¨0.059 ¦¸¡¤mm?/m£©¡¢Çâ´à·çÏÕ |
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---|---|---|---|---|
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»·ÑõÊ÷Ö¬ | Õæ¿Õ½þ×Õ | ÃÜ·â×°±¸£¨Èçµç»úÈÆ×飩 | ÄÍ»¯Ñ§ÇÖÊ´¡¢»úеǿ¶È¸ß | ¹Ì»¯ºó´àÐÔ´ó¡¢ÐÞ¸´ÄÑÌâ |
±½²¢Èýßò£¨BTA£© | »¯Ñ§½þÅÝ | ϸÃܵç×ÓÔª¼þ£¨ÈçÅþÁ¬Æ÷£© | Ðγɵ¥·Ö×Ó±£»£»£»£»¤Ä¤£¨ºñ¶È<1 nm£©¡¢²»Ó°Ïìµ¼µçÐÔ | ÄÍÎÂ<100¡æ¡¢ÐèÑÏ¿á¿ØÖÆÅ¨¶È£¨0.1%~1%£© |
ÄÉÃ×Ñõ»¯ÎïÍ¿²ã£¨ÈçAl?O?£© | Ô×Ó²ã³Á»ý£¨ALD£© | ¸ßƵ¸ß¿É¿¿³¡¾°£¨Èç5G»ùÕ¾£© | ºñ¶È¿É¿Ø£¨1~10 nm£©¡¢ÄÍÎÂ>300¡æ | ×°±¸±¾Ç®¸ß¡¢²úÄÜµÍ |
3. »ºÊ´¼ÁÀ࿹Ñõ»¯¼Á
»ºÊ´¼ÁÀàÐÍ | ×÷ÓûúÀí | ÊÊÓó¡¾° | ÓÅÊÆ | ¾ÖÏÞÐÔ |
---|---|---|---|---|
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Óлú»ºÊ´¼Á£¨Èç°·Àࣩ | Îü¸½ÓÚÍÍâò£¬£¬×è¶ÏÇÖÊ´½éÖÊ | º£Ñóƽ̨װ±¸ | »·±£¡¢¿ÉÉúÎï½µ½â | ÄÍÎÂ<80¡æ¡¢Ðè°´ÆÚÔö²¹ |
¸´ºÏ»ºÊ´¼Á£¨ÈçîâËáÑÎ+±½²¢Èýßò£© | Ðͬ¶Û»¯+Îü¸½×÷Óà | Æû³µ·¢ÄîÍ·ÀäÈ´Òº | ÄÍÎÂ>120¡æ¡¢»·±£ | Åä·½ÖØ´ó¡¢±¾Ç®½Ï¸ß |
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